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| Microóptica y óptica integrada |
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Estos dispositivos aprovechan las ventajas inherentes de la óptica y la microescala (p.e. alta sensibilidad, inmunidad al ruido eletromagnético, guías de onda e integración del encapsulado). Los procesos de microfabricación ofrecen un bajo costo de integración y encapsulado de dispositivos ópticos, evitando el uso de instrumentación externa que debe ser alineada de forma precisa. La integración de diversas funciones facilita su manejo, permitiendo su uso a personal no cualificado. |
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Alineamiento de fibras ópticas a microestructuras ópticas. |
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Simulación del acople entre fibra óptica y guía de onda. |
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Guías de onda en polímero fotodefinible SU-8. |
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Fotodiodos MESA con guías de onda integradas. |
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| Encapsulado |
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El encapsulado debe ser capaz de proteger al microsistema del entorno y conectarlo con la instrumentación. Además, esto debe conseguirse a un bajo costo, y sin interferir con el propósito del dispositivo. Un encapsulado adecuado es una etapa crítica para poder lanzar el producto al mercado.
El área de microsistemas hace uso del amplio conocimiento de otras áreas tales como electrónica analógica (acondicionado de señal), electrónica digital (procesado de señal) o encapsulado microelectrónico (diseño de circuitos impresos). |
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Encapsulado de un biosensor óptico. |
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Encapsulado de un microsensor de flujo. |
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Encapsulado de un microsensor de calidad de gas natural. |
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Encapsulado y electrónica de un microsensor de combustión de gas natural. |
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Encapsulado de un microsensor de presión diferencial. |
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| Microfluídica/Microanalítica |
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Los microsistemas de análisis bioquímicos son conocidos como Lab-on-a-Chip o µTAS (Micro Total Analysis Systems). Una característica de estos dispositivos microfluídicos es que no sólo miden una gran variedad de variables biofísicas, sino que además pueden realizar la preparación de muestras químicas. La integración de funciones de preparación de muestras facilita el uso de estos dispositivos, lo que permite su uso a personal no cualificado. Estamos llevando a cabo una extensa investigación en análisis de gases, viscosidad de fluidos, inmunodetección, electroforesis capilar, isoelectroenfoque, fluorescencia, separación de proteínas y ADN y amplificación PCR. |
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Microbomba actuada térmicamente. |
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Estructuras 3D de microcanales en polímero fotodefinible SU-8. |
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Microsensores de gas y flujo para calderas. |
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Microválvula actuada magnéticamente (níquel electrodepositado). |
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| Microsensores mecánicos |
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Las leyes de escala aplicadas a microsensores proporcionan mecanismos de transducción muy sensibles para medir propiedades mecánicas como la aceleración, el par, la presión, la fuerza, etc. La investigación y el desarrollo tecnológicos están siendo transferidos a los sectores de electrodomésticos y automoción. |
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Microsensor óptico de vibración. |
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Microsensor de presión para medida de flujo. |
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