Microsistemas

Sala limpia

Zonas:

• Zona de fotolitografía de clase 100

• Zona de baños químicos de clase 1.000

• Zona de proceso, caracterización y encapsulado, de clase 1.000.

Sistema de ultrapurificación de agua y agua desionizada.

Control medioambiental de los residuos.

Equipamiento

Equipo de fotolitografía

• Baño químico Ramgraber con diversos pozos para realizar las limpiezas de las muestras así como el revelado de la fotorresina, con y sin ultrasonidos. Dispone de 2 spinners para el depósito de la fotorresina y para realizar secados.

• Alineadora-insoladora de doble cara Karl Süss MA6/BA6. 

Equipos de proceso:

• Horno de oxidación térmica seca o húmeda ATV PEO-601.

• Limpieza por plasma Harrick.

• Sistema de recubrimiento Pfeiffer Vacuum Classic 500 con 4 magnetrones de 4” Ferrotec.

Equipos de procesos químicos

• 2 baños químicos de propósito general Ramgraber para limpieza y procesado.

• Un baño químico de KOH Ramgraber.

• Sistema de parada electroquímica en KOH con potenciostato AMMT model SC.

• Sistema de porosificación/electropulido de silicio AMMT PSB.

• Sistema de electrodepósito Fibrotools Iko  

Equipos de ataque seco 

• Sistema de ataque seco de óxidos RIE Oxford Plasmalab 80.

• Sistema de ataque profundo de silicio DRIE Oxford Plasmalab 80.

Encapsulado:

 . Máquina de encapsulado a nivel de oblea (anodic bonding, eutéctico, silicio-silicio) Karl Süss SB6.

 . Cortadora Disco DAD321.

 . Máquina flexible de die attach y flip-chip Dr. Tresky 3002. 

 . Máquinas de interconexionado Kulicke & Soffa 4524 (ball-wedge) y 4523 (wedge-wedge).

 . Ensayos de pull and shear con el sistema Daga 4000.

Caracterización:

 . Microscopio electrónico Quanta 200 con análisis de materiales EDAX Genesis 2000.

 . Microscopio LEICA DM LM de hasta 1.000 aumentos.

 . Estereomicroscopio Leica MZ 12.5, con cámara digital Leica DC200 y software IM 1000.

 . Perfilómetro confocal sin contacto Atos.

Índice de refracción Metricon Model 2010 Prism Coupler.

 . E Elipsómetro Sentech SE500.

 . Resistencia de hoja Jandel multi-position.

 . Equipamiento óptico para ensayos en guías de onda.

 . Cámara climática Climats Excal 5424-HE para ensayos de temperatura y humedad.