options
search icon
email icon
EU
rrss gif icons
twitter icon
linkedin icon youtube icon

Mikrosistemen Laborategia

Mikrosistemen laborategia
shape

Gela garbia

Guneak:

  • 100 Klaseko fitolitografi gunea
  • 1.000 Klaseko bainu kimikoen gunea
  • 1. Klaseko prozesu, karakterizazio eta kapsulatze gunea.
  • Ura ultraarazteko eta ur desionizaturako sistema.
  • Hondakinen ingurumen kontrola.

Folitografiako ekipamendua:

  • Ramgraber bainu kimikoa hainbat putzurekin laginak garbitzeko eta fotoerretxina garbitzeko, ultrasoinuekin eta gabe. 2 spinner ditu fotoerretxina gordetzeko eta lehorketak egiteko.
  • Alineadora-insoladora de doble cara Aurpegi bikoitzeko Karl Süss MA6/BA6 eta EVG620 lerrokatzaile-eguzkitzailea.

Prozesuko ekipamenduak:

  • ATV PEO-601 oxidazio termiko lehor edo hezeko labea.
  • Harrick eta Diener Pico plasma bidezko garbiketa.
  • Pfeiffer Vacuum Classic 500 estaldura sistema 4” Ferrotec-eko 4 magnetronekin.
  • Ink-jet printer Dimatix DMP-2800
  • Dr. Blade
  • Eskularru kamera lurrungailuarekin
  • Quantum dots sintesi kamera

Prozesu kimikoetarako ekipamenduak

  • Ramgraber helburu orokorreko 2 bainu kimiko garbiketa eta prozesaketarako.
  • KOH Ramgraber bainu kimiko bat.
  • KOH geldialdi elektrokimikoko sistema AMMT model SC potentziostatoarekin.
  • AMMT PSB silizio porosifikazio/elektroleunketarako sistema.
  • Fibrotools Iko elektrodeposituko sitema

Eraso lehorreko ekipamenduak

  • RIE Oxford Plasmalab 80 oxidoen eraso lehorreko sistema.
  • DRIE Oxford Plasmalab 80 silizio eraso sakoneko sistema.

Kapsulatzea

  • Olata mailan kapsulatzeko makina (anodic bonding, eutektikoa, silizioa-silizioa), Karl Süss SB6 eta EVG510
  • DAD321 disko ebakitzailea.
  • Makina malgua, die attach eta flip-chip Dr. Tresky 3002.
  • Interkonexiorako makinak, Kulicke & Soffa 4524 (ball-wedge) eta 4523 (wedge-wedge).
  • Pull and shear saiakuntzak Daga 4000 sistemarekin.

Karakterizazioa

  • Quanta 200 mikroskopio elektronikoa materialen analisiarekin, EDAX Genesis 2000.
  • LEICA DM LM mikroskopioa, 1.000 handitzeraino.
  • Leica MZ 12.5 estereomikroskopioa, Leica DC200 kamera digitalarekin eta IM 1000 softwarearekin.
  • Atos kontakturik gabeko perfilometro konfokala.

Metricon Model 2010 Prism Coupler errefrakzio indizea.

  • Sentech SE500 elipsometroa.
  • Jandel multi-position erresistentzia orriduna.
  • Uhin gidako saiakuntzetarako ekipamendu optikoa. 
  • Climats Excal 5424-HE ganbera klimatikoa tenperatura eta hezetasun saiakuntzetarako.
shape
close overlay